中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，中微总部测试 、华南位于广州增城经济技术开发区的及生中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。产基
地期投资约 10 亿元，封顶基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、广州公司本次封顶的中微总部一期项目占地约 50 亩，集研发 、华南装配功能于一体 。及生向着既定建成投产目标稳步推进。产基PECVD 等微观加工设备研发制造，地期整体规划总投资 30 亿元 。封顶近日 ，广州公司并持续拓展智能玻璃 、